La historia moderna de los sensores de presión

En todo tipo de sensor El sensor de presión, con su pequeño volumen, peso ligero, alta sensibilidad, estabilidad y fiabilidad, bajo coste y fácil integración, puede utilizarse ampliamente en la medición y el control de presión, altura, aceleración, flujo de fluidos, caudal, nivel de líquido y presión. Además, también se utiliza ampliamente en la conservación del agua, geología, meteorología, química, medicina y atención sanitaria, etc. Debido a que la tecnología es un proceso planar combinado con un procesamiento tridimensional, y es conveniente para la integración, por lo que puede utilizarse para fabricar medidores de presión arterial, velocidad del viento, medidores de agua y manómetro , dispositivo de alarma electrónico y automático, etc. La tecnología es la más madura del sensor de presión se ha convertido en todo tipo de sensores, el rendimiento más estable, la relación más alta de una clase de sensor. Por lo tanto, para que se dedique a la medición moderna y al control automático, el personal técnico profesional debe comprender y familiarizarse con el estado de la investigación y la tendencia de desarrollo del sensor de presión en el país y en el extranjero. El sensor de presión moderno está marcado por la invención del sensor semiconductor, que se puede dividir en cuatro etapas de desarrollo del sensor semiconductor, seguimos la planta de instrumentos y medidores para ver cuáles son las cuatro etapas: etapa 1 invención (1945 - 1960) Esta etapa principalmente en 1947 marcó la invención del transistor bipolar. Desde entonces, se obtuvieron características de aplicación más extensas del material semiconductor. Smith, C。 年代。 史密斯) En 1945 y descubrió el efecto piezorresistivo del silicio y el germanio, es decir, cuando hay una fuerza externa ACTUANDO sobre el material semiconductor, su resistencia cambiará obviamente. Según el principio del sensor de presión, una lámina de resistencia a la deformación se pega sobre una película metálica y mide la señal de fuerza convirtiéndola en una señal eléctrica. En esta etapa, el tamaño mínimo es de aproximadamente 1 cm. Etapa 2 (1960-1970): Con el desarrollo de la tecnología de difusión del silicio, el personal técnico en silicio (001) o (110) eligió el cristal adecuado para distribuir la resistencia a la deformación directamente sobre la cara del cristal y luego, en la parte posterior, en una concavidad, para formar un diafragma elástico de silicio delgado, conocido como copa de silicio. Esta forma de sensor de copa de silicio con pequeño volumen, peso ligero, alta sensibilidad, buena estabilidad, bajo costo y fácil integración con las ventajas del metal, se logró el silicio eutéctico, que ofrece potencial para el desarrollo comercial. 3. Etapa de comercialización (1970-1980) En la teoría de difusión de copa de silicio sobre la base de la aplicación de la tecnología de grabado anisotrópico de silicio, su tecnología de procesamiento de sensor de silicio de difusión con cada tecnología de erosión de silicio diferente se da prioridad, puede convertirse en tecnología de procesamiento anisotrópico de silicio de control automático espesor de película de silicio, el método principal de ranura en V, método de suspensión automática de boro grueso, método de oxidación anódica, método de suspensión automática y método de suspensión automática de control por microcomputadora. Debido a que la corrosión puede ser en múltiples superficies simultáneamente, se pueden producir miles de membranas de presión de silicio al mismo tiempo, ha logrado el modo de procesamiento de fábrica integrado, reduciendo aún más el costo. 4. Etapa de procesamiento mecánico (1980 - ) A finales del siglo pasado surgió la nanotecnología, lo que hizo posible la tecnología de procesamiento micromecánico. Mediante el proceso de mecanizado, se puede controlar por computadora el sensor de tensión estructural, lo que afecta su control dentro del rango del nivel micrométrico. El uso de esta tecnología permite procesar, grabar zanjas, artículos y membranas a nivel micrométrico, lo que hace que el sensor de presión haya entrado en la fase micrométrica. Circuitos integrados (el sensor de presión MEMS puede usar IC similares) Tecnología de diseño y proceso de fabricación, alta precisión, bajo costo de producción en masa, se ha extendido a la electrónica de consumo y se utiliza ampliamente en productos de control de procesos industriales con sensores MEMS de bajo costo, lo que hace que la presión sea simple, fácil de usar y de control inteligente. El sensor de presión se basa en la deformación mecánica tradicional de elastómeros metálicos, la deformación elástica de la magnitud mecánica a la conversión de energía de salida, por lo que no se puede hacer como el sensor de presión MEMS tan pequeño como un IC, el costo es mucho mayor que el del sensor de presión MEMS. En comparación con el sensor de magnitud mecánica tradicional, el tamaño del sensor de presión MEMS es menor, máximo no más de 1 cm, hace que el rendimiento de costo comparado con los tradicionales y otros; Mecánico y en todo; Mejora enormemente la tecnología de fabricación. La tendencia futura del desarrollo de los países del mundo en el campo de investigación de sensores de presión es muy amplia, casi impregna todos los ámbitos de la vida, pero el resumen tiene básicamente las siguientes tendencias, como Katie instrument equipment factory nuevamente ve: 1 miniaturización de la miniaturización de la demanda actual del mercado de sensores de presión pequeños es cada vez mayor, los sensores pequeños pueden trabajar en condiciones extremas y requieren poco mantenimiento y mantenimiento, el impacto en el entorno circundante también es pequeño, puede colocarse en cada órgano importante del cuerpo para recopilar información, no afecta la vida normal de las personas. Por ejemplo, el rango de Estados Unidos Entran es un sensor de 2 ~ 500 psi, el diámetro es de solo 1.27 mm, puede colocarse en los vasos sanguíneos del cuerpo sin gran influencia en la circulación sanguínea. 2 integrado El sensor de presión integrado se ha integrado cada vez más con otros sensores de medición para formar un sistema de medición y control. En el control de procesos y el sistema integrado de automatización de fábrica puede mejorar la velocidad y eficiencia de operación. 3. Inteligente: debido a la aparición de la integración, se pueden agregar algunos procesadores en el circuito integrado, el sensor con compensación automática, comunicación, autodiagnóstico, lógica y otras funciones. 4. Estilo: otra tendencia de desarrollo del sensor de presión es expandirse desde la industria de la maquinaria a otros campos, tales como: componentes automotrices, equipos médicos y sistemas de control de energía y medio ambiente. 5. Estandarizado: el diseño y la fabricación de sensores estandarizados han formado ciertos estándares de la industria.

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