Estrutura e princípio do sensor de pressão de silício piezoresistivo de difusão.

O sensor de pressão piezoresistivo de silício por difusão é um extensômetro semicondutor de alta precisão, que utiliza uma ponte retificadora como circuito de transformação elétrica para medição de força. Possui alta precisão de medição, baixo consumo de energia e baixo custo. Nesse sensor piezoresistivo, a ponte retificadora, por exemplo, apresenta uma saída zero em caso de variação de pressão, praticamente sem consumo de energia. O silício por difusão é um material condutor. transmissor de pressão O sensor de pressão piezoresistivo de difusão de silício da série West Source Technology é composto por uma membrana de silício circular que envolve a tensão, formando uma espécie de copo. A tecnologia de pesquisa e desenvolvimento independente da West Source Technology aplica um sistema de alta precisão para medir a tensão superficial em semicondutores, onde a tensão é máxima. O circuito de medição de força transforma a pressão em eletricidade, com precisão de 0,25 a 0,5% da escala completa. A camada do sensor é vítrea, com silício na parte superior e inferior, formando um copo de tensão central. A camada superior de silício tensionado possui uma câmara de vácuo, caracterizando-o como um sensor de pressão piezoresistivo de difusão. A camada de silício tensionado em contato com a câmara de vácuo é formada por litografia, criando um circuito de ponte de extensômetro resistivo. Quando o sensor de pressão entra na câmara de pressão externa, a película fina de silício tensionada se contrai ligeiramente devido à força externa, causando deformação elástica. Isso leva à alteração da resistência dos quatro extensômetros, destruindo o circuito original da ponte de equilíbrio de Huis, cuja tensão de saída é proporcional à pressão. O sensor de pressão de silício por difusão é posicionado diretamente sobre o diafragma do sensor (aço inoxidável ou cerâmica), fazendo com que o microdeslocamento do diafragma seja proporcional à pressão do meio. A resistência do sensor varia e um circuito eletrônico detecta essa variação, transformando o sinal de saída em uma medição padrão correspondente à pressão.

Numa altura em que a tecnologia é essencial para a medição de níveis, garantir que funciona de forma simbiótica com os seus colaboradores humanos é fundamental.

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