Estructura y principio de funcionamiento del sensor de presión de silicio por difusión de tipo piezorresistivo.

El sensor de presión de silicio por difusión de tipo piezorresistivo de silicio es un extensómetro de resistencia semiconductor de alta precisión, Hui, un puente como circuito de medición de fuerza de transformación eléctrica, tiene alta precisión de medición, menor consumo de energía y bajo costo. El sensor piezorresistivo Hui, un puente, como por ejemplo, ante cambios de presión, la salida es cero, casi sin consumo de electricidad. Silicio por difusión transmisor de presión El sensor de presión de silicio de difusión tipo piezorresistivo de la serie West Source Technology tiene una tensión circular fija que rodea la pared de la membrana de silicio de la copa. La tecnología de investigación y desarrollo independiente de West Source Technology se dirige directamente al sistema de cuatro semiconductores de alta precisión de tensión para un momento en la superficie de tensión es la más grande, compuesto por un puente de medición Huis, como circuito de medición de fuerza, la transformación eléctrica hará que las cantidades de presión se conviertan directamente en electricidad, su precisión de medición puede alcanzar 0.25 - 0.5% FS. La capa del sensor de presión de silicio de difusión tipo piezorresistivo de silicio es vítrea, el medio superior e inferior es de silicio, el silicio central hace una copa de tensión, la película de silicio de tensión superior tiene una cámara de vacío, lo que lo convierte en un sensor de presión de silicio de difusión de presión típico. Esta película delgada de silicio de tensión de contacto lateral y la cámara de vacío mediante litografía para generar un circuito de puente de galga de tensión de resistencia. Cuando el cable entra en la cámara de presión, el sensor de presión fuera de la copa de tensión, la película delgada de silicio de tensión se contrae ligeramente debido a la fuerza externa, y se produce una deformación elástica, lo que provoca un cambio en la resistencia de los cuatro extensómetros de resistencia, destruyendo el circuito del puente de equilibrio original de Huis, cuyo voltaje de salida es proporcional a las señales de presión. El sensor de presión de silicio de difusión de presión se coloca directamente sobre el diafragma del sensor (de acero inoxidable o cerámica), haciendo que el microdesplazamiento del diafragma sea proporcional a la presión del medio, la resistencia del sensor cambia y se utiliza un circuito electrónico para detectar el cambio, y la salida de transformación genera una señal de medición estándar correspondiente a la presión.

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